Cover Image

Технологическое оборудование для микроэлектроники: учебное пособие

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонт...

Full description

Main Author: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.
Format: Book
Published: Москва РИПО (2014)
Subjects:
Online Access: https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9789855033692.html
Resources: ЭБС Консультант студента
Tags: Add Tag
No Tags.
Bibliographic record:

Камлюк В.С. и др. Технологическое оборудование для микроэлектроники: учебное пособие - Москва: РИПО, 2014 - 391с. - URL: https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9789855033692.html

LEADER 01708nam a2200253 4500
001 book/ISBN9789855033692
005 20211014095402.0
010 |a 978-985-503-369-2 
100 |a 20211014c2014 u 0rusy50 ca 
152 |a psbo 
200 1 |a Технологическое оборудование для микроэлектроники  |e учебное пособие  |f Камлюк В.С.  |f  Камлюк Д.В. 
210 1 |a Москва  |c РИПО  |d 2014 
215 |a 391 c. 
330 |a Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования. 
610 0 |a Электроника, радиотехника и системы связи 
675 |a 621.3.049.77(075) 
689 |a 32.844.1С?7 
700 1 |a Камлюк  |b В.С. 
701 1 |a Камлюк  |b Д.В. 
801 1 |a ru  |b Geotar  |c 20211014  |g psbo  |2 rusmarc 
801 1 |a ru  |b Geotar  |c 20211014  |g psbo  |2 rusmarc 
856 4 |u https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9789855033692.html 
899 |a 42013097