Cover Image

Технологическое оборудование для микроэлектроники: учебное пособие

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонт...

Full description

Main Author: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.
Format: Book
Published: Москва РИПО (2014)
Subjects:
Online Access: https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9789855033692.html
Resources: ЭБС Консультант студента
Tags: Add Tag
No Tags.
Bibliographic record:

Камлюк В.С. и др. Технологическое оборудование для микроэлектроники: учебное пособие - Москва: РИПО, 2014 - 391с. - URL: https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9789855033692.html

Summary: Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
Physical Description: 391 c.
ISBN: 978-985-503-369-2